旋片式真空泵機組

旋片真空機組是以泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯而成的。旋片真空機組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且同時保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優點。因為該機組的結構緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺機械真空泵,因此旋片泵機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設備的預抽、電真空半導體等行業中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學反應的也不會含有顆粒塵埃的氣體。

而立式無油往復泵機組以ZJ泵為主泵，以WLW型方式無油泵為前級泵串聯而成，由于WLW型真空泵采用無油自潤滑系統，這樣可以獲得潔凈真空，這樣在加裝尾氣收集裝置后，可以收集在高真空系統中無法凝固、無法壓縮收集的氣體，而又同時避免了水環機組所產生的大量廢水的排放而導致污染環境的問題。