各種真空泵的工作原理

水噴射真空泵能更好地耐受很高的溫度差變，故該泵比同型泵能受得起高溫而且使用壽命也更長。該泵適用于電子工業，如電子管。顯像管。X光管，以及半導體單晶硅的冶煉提純，高沸點的油脂蒸餾提純分離，日光燈，保溫瓶高真空排氣的儀器。

工作原理

先由轉動真空泵把系統抽到10-2Pa擴散泵油被加熱沸騰,以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統內氣體分子帶到泵的側臂彎管球泡處集結,待氣體密度達到機械真空泵的工作范圍而被抽出,從而逐漸獲得高真空.

安全操作規程

一、操作人員盡量熟悉該型號的真空泵的結構性能、工作原理及操作規程。

二、每次開泵之前盡量做如下檢查：

1、 電器開關、接地線是否完好可靠；

2、 真空表是否靈敏可靠，連接捕集器、中和桶吸收液位是否正常、有效；

3、 各部位的潤滑油是否充足，地腳螺栓、皮帶罩是否牢固；

4、 冷卻水的進出水閥門是否開啟，水量是否適宜；

5、 真空管路的閥門開或閉是否正確；

6、 人工盤車2—3轉，檢查轉動部件是否正常。

三、真空泵運轉過程中，操作人員應經常查看電流讀數是否正常，傾聽聲音是否正常，如發現異常應立即進行檢查、檢修。

四、 真空泵每年至少進行一次全面檢修，真空表每半年應校驗一次。

潤滑油應保持適量，停泵后再關閉冷卻水。